薄膜抵抗器・薄膜技術のスペシャリスト 進工業株式会社
2.チップアッテネータを薄膜技術で実現
2.1 薄膜抵抗でアッテネータを実現
薄膜抵抗とは
抵抗材料を薄く均一に製品基板に着膜し、
その後フォトリソグラフィーでパターンを形成して抵抗素子とします。
2.2 薄膜抵抗素子の特長と優位性
薄膜抵抗素子の特長
薄膜抵抗素子ではスムーズな電子の流れで、
ノイズや高調波レベルを低く抑えることができます。
チップアッテネータを構成する複数の抵抗素子を薄膜技術で実現
薄膜抵抗素子での優位性（高調波レベルが低い）
薄膜抵抗素子は電流ノイズが小さく、高調波レベルが低い特性を持ちます。
特に、高周波領域では高調波を低く抑える必要があります。
下図のように、薄膜抵抗素子では厚膜抵抗素子に比較して３次高調波が
非常に低いレベルに抑えられています。（抵抗器での比較）
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