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薄膜の特徴

薄膜の膜の特徴

均質な膜
  • 隣接素子との性質は均一
  • 欠陥極小→ローノイズ
  • 温度安定性、高精度
  • 均質な膜の為、温度安定性、高精度、長期安定性
膜が薄い
  • 隣接素子との浮遊容量極小
    (厚み0.1µm ~0.01µm)
付着力が強い
  • 長期安定性、温度安定性
  • 端子強度が強い(他方式の倍以上)
加工
  • 微細加工、精密加工
  • 多層化しても薄い
特異な性質
  • 直線性の良い、リニアな温度係数
  • 硬質でエッジカバーの良い保護膜
  • 非結晶、結晶膜を着膜条件で作成

薄膜の利用上の特徴

高安定制御
  • 高安定制御内の隣接素子との性質は均一
  • 温度安定性、高精度、長期安定性
高周波領域
  • 浮遊容量極小、均一
  • ローノイズ、広帯域周波数特性
  • 小型薄型、端子接続安定性
耐環境性
  • 長期安定性、温度安定性
  • 端子強度が強い
  • 高安定、高信頼保護薄膜
小外形寸法
  • 微細加工、精密加工
  • 薄膜多層化による新機能
  • 薄膜多層化による薄形
ローコスト
  • 省資源、高安定性、高精度によるトータルコストの削減

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