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進工業株式会社
薄膜技術のスペシャリスト 進工業株式会社
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薄膜とSSM
薄膜の特徴
薄膜の特徴
薄膜の膜の特徴
均質な膜
隣接素子との性質は均一
欠陥極小→ローノイズ
温度安定性、高精度
均質な膜の為、温度安定性、高精度、長期安定性
膜が薄い
隣接素子との浮遊容量極小
(厚み0.1µm ~0.01µm)
付着力が強い
長期安定性、温度安定性
端子強度が強い(他方式の倍以上)
加工
微細加工、精密加工
多層化しても薄い
特異な性質
直線性の良い、リニアな温度係数
硬質でエッジカバーの良い保護膜
非結晶、結晶膜を着膜条件で作成
薄膜の利用上の特徴
高安定制御
高安定制御内の隣接素子との性質は均一
温度安定性、高精度、長期安定性
高周波領域
浮遊容量極小、均一
ローノイズ、広帯域周波数特性
小型薄型、端子接続安定性
耐環境性
長期安定性、温度安定性
端子強度が強い
高安定、高信頼保護薄膜
小外形寸法
微細加工、精密加工
薄膜多層化による新機能
薄膜多層化による薄形
ローコスト
省資源、高安定性、高精度によるトータルコストの削減
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